COXEM EM-30AX⁺高分辨率台式扫描电镜利用创新的双聚光镜成像技术，使用二次电子探测器作为基础成像单元，从而获得更高的分辨率（<5nm）。电镜配置SE+BSE探测器，可实现对样品的元素衬度、形貌衬度进行分析，同时配备EDS探测器（能谱仪），快速实现对材料微区化学成分进行定性及定量分析。

技术参数：

分辨率：5.0nm @30kV (SE)，对断口中夹杂的50nm以下颗粒可清晰成像

放大倍数：底片放大≤150000倍，电子放大倍数最大≤400000倍

加速电压：1kv - 30kv（step1kV）

样品台：X/Y=35mm（马达驱动），Z=0 - 50mm，T=0 - 45°（马达驱动），R=360°

工作距离：4 - 50mm

扫描电镜