COXEM EM-30AX⁺高分辨率台式扫描电镜利用创新的双聚光镜成像技术，使用二次电子探测器作为基础成像单元，从而获得更高的分辨率（<5nm）。电镜配置SE+BSE探测器，可实现对样品的元素衬度、形貌衬度进行分析，同时配备EDS探测器（能谱仪），快速实现对材料微区化学成分进行定性及定量分析。

技术参数：

分辨率：5.0nm @30kV (SE)，对断口中夹杂的50nm以下颗粒可清晰成像

放大倍数：底片放大≥150000倍，电子放大倍数最大≥400000倍

加速电压：1kv - 30kv（step1kV）

样品台：X/Y=35mm（马达驱动），Z=0 - 50mm，T=0 - 45°（马达驱动），R=360°

工作距离：4 - 50mm

扫描电镜使用步骤

1.打开电镜右侧红色开关，待电镜真空度达到100%时，点击VACUUMON，会提示是否选择VENT,选择YES等待蓝色灯全灭时或SETUP中真空度为0时，打开样品仓；

2.放置样品，放入后载物台拧紧，关闭舱门，点击VacuumON，进行抽真空操作；

3.等待样品仓内真空度至100%，点击E-GunON;

优先在低倍下找到所拍样品，随之对感兴趣的区域进行聚焦;

4.点击Photo拍照，Image保存所拍照片;

5.待样品测试结束时，先点击E-Gun ON关闭高压;

6.等待发射电流低于5 uA，点击Vacuum ON，选择YES放真空等待蓝色灯全灭时或SETUP中真空度为0时，打开样品仓,取出试样，点击Vacuum ON，选择YES抽真空，待真空度至100%关闭电镜即可。

扫描电镜注意事项

1.放入样品前先测量样品距离，所测样品距离不能低于于5mm，形貌拍摄在6mm或7mm左右，能谱拍摄最佳位置为12mm左右；

2.放入样品前先用洗耳球吹净表面粉末；

3.电镜使用时环境湿度不大于50%，环境温度于20-25℃；

4.操作人员必须在不离开仪器前提下，遵照操作流程进行操作。