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专利号:CN201610207677.1
摘要:本发明提供了一种类金刚石碳薄膜的制备方法,包括如下步骤:以离子液体溶液为原料,制备得到离子液体薄膜;将所述离子液体薄膜在惰性气氛下进行热处理,得到类金刚石碳薄膜。本发明提供的方案以离子液体作为碳源,拓展了热解法制备DLC薄膜的碳源选择。此外,本发明得到的DLC薄膜具有高硬度和高杨氏模量的特性。实验结果表明,杨氏模量Er为11.92GPa,硬度为5.1GPa。另外,本发明得到的DLC薄膜呈无定形非晶态碳结构,满足类金刚石的结构要求。
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