双路水冷旋转轴式真空动密封器件
一、技术领域
本实用新型涉及真空烘烤（镀膜）容器中需由外部输入动力的真空动密封技术领域，尤其涉及到能够实现真空旋转轴式传递动力的密封器件。
二、背景技术
在通用真空（镀膜）容器中，内部所需动力通常都是通过动密封器件由容器外部传递进来的。常规工况下的旋转轴动密封组件型式主要有：橡胶密封圈型、磁流体密封型、磁力传动型、液态金属型几种。
然而，在有烘烤要求的真空（镀膜）容器中的烘烤温度一旦超过密封材料的工作温度,就会使真空动密封器件中的构件和轴承过热，从而使得密封材料产生老化、磁耦合材料产生退磁、低熔点密封材料升华等问题，严重影响动密封器件的密封性能。因此，有烘烤要求的真空（镀膜）容器，要保证动密封器件具有良好的真空动态密封和动力传递性能，必须给予良好的冷却。
三、发明内容
本实用新型的目的在于针对现有技术中的缺陷而提供一种双路水冷旋转轴式高真空动密封器件。本实用新型采用橡胶密封圈型式的旋转轴动密封结构，通过增加双水冷却结构来解决容器内过高的烘烤温度对密封材料和构件的影响问题。
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